經(jīng)過工業(yè)氫氟酸作用氮化硅表面之后，是可以將氮化硅表面的非極性基團刻腐蝕掉，比如講氧化的含氮基因脫氧變成極性的基團，同時也是暴露出來很多的Si-N鍵，這樣的Si-N鍵也是一種極性比較高的鍵，這些含氮的基因和有比較高極性的Si-N鍵都會呈現(xiàn)出親水性，減小了薄膜和溶液的接觸角，這樣也增加了氮化硅表面的親水性，采用這方法是可以簡單的增加表面的親水性，因此在后續(xù)的氮化硅表面獲得更加全面積且均勻的涂抹或者是旋涂薄膜。